តម្រងផ្សាភ្ជាប់ C សម្រាប់ផ្ទៃ IGS ដំណើរការខ្ពស់សម្រាប់ប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័នស៊ីមីកុងដុកទ័រ

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ម៉ាក៖ហេងកូ

ឈ្មោះតម្រង៖តម្រង C-Seal សម្រាប់ម៉ោនលើផ្ទៃ IGS

សម្ភារៈ៖អេសអេស ៣១៦អិល

អត្រាលំហូរ៖១០ ~ ១២០ វិនាទីក្នុងមួយនាទី

សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា៖៤៦០អង្សាសេ

ទំហំនៃការដកយកភាគល្អិត៖> 0.003 មីក្រូម៉ែត្រ

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង ត្រឡប់ទៅប្រភេទរងវិញ

ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ការពិពណ៌នា

តម្រង HENGKO Surface Mount ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃប្រព័ន្ធឧស្ម័នរួមបញ្ចូលគ្នាដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ OEM ពាក់កណ្តាលសៀគ្វី។ ដោយផ្តល់ជូននូវការច្រោះឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្មក្នុងទំហំ 0.003 µm តម្រងទាំងនេះធានានូវដំណើរការ និងភាពជឿជាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះជាមួយនឹងប្រសិទ្ធភាពស្ទាក់ចាប់ភាគល្អិត ≥99.9999999% (9-LRV) ក្នុងល្បឿន 120 slpm។

ផលិតពីម្សៅដែកអ៊ីណុករឹងមាំ 316L ដែលត្រូវបានផ្សំឡើងសម្រាប់ធាតុតម្រង និងស្រោម តម្រងទាំងនេះអនុលោមតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេស SEMI F86-0304 ដែលមានសមាសធាតុច្រកពីរដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័នទំហំ 1.125 អ៊ីញជាមួយនឹងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ C-seal។ ពួកវាគាំទ្រសម្ពាធចូលអតិបរមា 3.4 MPa នៅសីតុណ្ហភាព 100°C និងភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធប្រតិបត្តិការអតិបរមា 0.69 MPa នៅសីតុណ្ហភាព 100°C។

តម្រងឯកទេសទាំងនេះ ដែលឆបគ្នាជាមួយនឹងលក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃការផ្សាភ្ជាប់ប្រភេទ C និងប្រភេទ W សម្រេចបាននូវភាពស្អាតនៅខាងក្រោមជាមួយនឹងការបញ្ចេញភាគល្អិតនៃ

ជាមួយនឹងការបញ្ចប់ផ្ទៃ Ra< 1.6 µm នៅខាងក្រៅ និង Ra< 0.13 µm នៅផ្នែកខាងក្នុង ពួកវាត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់រហូតដល់ 460°C។ ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលងាយស្រួល និងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការរចនាម៉ូឌុល តម្រងទាំងនេះធ្វើឱ្យការដំឡើង និងការថែទាំមានភាពងាយស្រួល ដោយជួយបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការប្រព័ន្ធក្នុងកម្មវិធីចែកចាយឧស្ម័នពាក់កណ្តាលសៀគ្វី និងការគ្រប់គ្រង។

លក្ខណៈពិសេសផលិតផល

▶ សំណង់ដែកអ៊ីណុក 316L សរុប
▶ រចនាបថតូច រចនាសម្ព័ន្ធតូច សន្សំសំចៃទំហំ
▶ លក្ខណៈជំនួសឧស្ម័ន និងការបញ្ចេញឧស្ម័នដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
▶ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ សម្ពាធខ្ពស់ និងធន់នឹងការច្រេះ
▶ តួដែកអ៊ីណុក 316L ប៉ូលាដោយអគ្គិសនី
▶ ការដំឡើង និងការថែទាំងាយស្រួល និងមានប្រសិទ្ធភាព
▶ ការផ្សាភ្ជាប់មេកានិច រចនាសម្ព័ន្ធមិនផ្សារទៅនឹងឧបករណ៍ផ្ទុក

តម្រងផ្សាភ្ជាប់ C សម្រាប់ផ្ទៃ IGS ដំណើរការខ្ពស់សម្រាប់ប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័នស៊ីមីកុងដុកទ័រ

សន្លឹកទិន្នន័យ

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស	តម្លៃ
សម្ភារៈធាតុតម្រង	ម្សៅដែកអ៊ីណុក 316L ដែលបានដុត
សម្ភារៈលំនៅដ្ឋាន	ដែកអ៊ីណុក 316L
សម្ពាធចូលអតិបរមា	៣.៤ MPa @ ១០០°C
ឌីផេរ៉ង់ស្យែលប្រតិបត្តិការអតិបរមា	០,៦៩ MPa @ ១០០°C
អត្រាលេចធ្លាយការផ្ទៀងផ្ទាត់អេលីយ៉ូម	១x១០⁻¹¹ សេសេ/នាទី
អត្រាលេចធ្លាយតេស្តអេលីយ៉ូម	១x១០⁻⁹ សេសេ/នាទី
ការព្យាបាលលើផ្ទៃ	ផ្ទៃខាងក្រៅ Ra< 1.6 μm
	ផ្ទៃខាងក្នុង Ra< ០,១៣ មីក្រូម៉ែត្រ
សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា	៤៦០អង្សាសេ
ប្រសិទ្ធភាពនៃការស្ទាក់ចាប់ភាគល្អិត	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS យោង ភាគល្អិតទាំងអស់)
អនាម័យនៅខាងក្រោមទន្លេ	ការបញ្ចេញភាគល្អិត៖< ០,០៣ ភាគល្អិត/លីត្រ (< 1 ភាគល្អិត/ហ្វីត³)
	សារធាតុងាយនឹងរលាយ៖សំណើម < 10 ppb
ទំហំស្ទាក់ចាប់ភាគល្អិត	≥0.003 μm
ជួរលំហូរ	០ ~ ១២០ វិនាទីក្នុងមួយនាទី

ទំហំ

ទំហំនៃតម្រងម៉ោនលើផ្ទៃ

នេះជាលេខផ្នែកដែលអ្នកអាចបញ្ជាទិញ និងព័ត៌មានលម្អិតអំពីទំហំ៖

ម៉ូដែលផលិតផល	អត្រាលំហូរ	កម្ពស់ H (មម)	ភាពជាក់លាក់នៃការច្រោះ	កម្រិតសម្អាត
Z01B-00637	១០ វិនាទី	៥១.៦	០,០០៣ មីក្រូម៉ែត្រ	C
Z01B-00638	៤០ ស្លាយក្នុងមួយនាទី	៨២.៩	០,០០៣ មីក្រូម៉ែត្រ	C
Z01B-00687	៨០ ស្លាយក្នុងមួយនាទី	១២៦.២	០,០០៣ មីក្រូម៉ែត្រ	C
Z01B-00688	១២០ ស្លាយក្នុងមួយនាទី	១៦៧.៩	០,០០៣ មីក្រូម៉ែត្រ	C