ការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកផ្តល់ថាមពលដល់បច្ចេកវិជ្ជាទំនើប ដោយពឹងផ្អែកលើដំណើរការច្បាស់លាស់ដូចជា ការឆ្លាក់ ការទម្លាក់ និងការថតរូបភាពជាដើម។
ដំណើរការទាំងនេះទាមទារឧស្ម័នសុទ្ធបំផុត ដូចជាអាសូត និងអ៊ីដ្រូសែន ដែលត្រូវតែគ្មានសារធាតុកខ្វក់ ដើម្បីធានាគុណភាពផលិតផល។
តម្រងឧស្ម័ន semiconductorដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ដោយកម្ចាត់ចោលនូវភាពមិនស្អាតដូចជាសំណើម អ៊ីដ្រូកាបូន និងភាគល្អិត ធានានូវភាពបរិសុទ្ធ
ត្រូវការសម្រាប់ផលិតកម្មប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងអាចទុកចិត្តបាន។
តើតម្រងឧស្ម័ន Semiconductor គឺជាអ្វី?
A តម្រងឧស្ម័ន semiconductorគឺជាឧបករណ៍ចម្រោះឯកទេសដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីលុបភាពកខ្វក់ដូចជាភាគល្អិត សំណើម និងអ៊ីដ្រូកាបូនចេញពី
ឧស្ម័នដែលប្រើក្នុងការផលិត semiconductor ។ តម្រងទាំងនេះធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលត្រូវការសម្រាប់ដំណើរការដូចជាការឆ្លាក់ ការទម្លាក់ និង lithography ។
ដែលជាកន្លែងដែលសូម្បីតែភាពមិនបរិសុទ្ធមីក្រូទស្សន៍អាចប៉ះពាល់ដល់គុណភាពផលិតផល។
តម្រងទាំងនេះជាធម្មតាត្រូវបានផលិតចេញពីសម្ភារៈកម្រិតខ្ពស់ដូចជាដែកអ៊ីណុក sintered, PTFE (ប៉ូលីតត្រាហ្វ្លុយអូរ៉ូទីលីន), និងសេរ៉ាមិច, ដែល
ផ្តល់នូវភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ធន់ និងភាពឆបគ្នាជាមួយនឹងប្រព័ន្ធឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ តាមរយៈការថែរក្សាស្ទ្រីមឧស្ម័នដែលគ្មានជាតិពុល។
តម្រងឧស្ម័ន semiconductor ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការសម្រេចបាននូវភាពជាក់លាក់ និងភាពជឿជាក់ដែលចាំបាច់សម្រាប់ការផលិតមីក្រូឈីបទំនើប។
ហេតុអ្វីបានជាតម្រងឧស្ម័ន Semiconductor មានសារៈសំខាន់?
ដំណើរការផលិត semiconductor មានភាពរសើបមិនគួរឱ្យជឿចំពោះសារធាតុកខ្វក់។
សូម្បីតែភាពមិនបរិសុទ្ធមីក្រូទស្សន៍អាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពនៅក្នុង wafers ដែលនាំឱ្យមានទិន្នផលកាត់បន្ថយ,
ដំណើរការឧបករណ៍ដែលរងការប៉ះពាល់ និងការបង្កើនថ្លៃដើមផលិតកម្ម។
សារធាតុពុលទូទៅរួមមាន៖
* ភាគល្អិត:
ធូលី កោរសក់ដែក ឬកំទេចកំទីរឹងផ្សេងទៀត។
* សំណើម:
អាចបណ្តាលឱ្យមានប្រតិកម្មគីមីដែលធ្វើឱ្យខូចគុណភាព wafers ។
* អ៊ីដ្រូកាបូន:
ណែនាំសំណល់ដែលមិនចង់បាន ឬរំខានដល់ដំណើរការគីមី។
ឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងដំណើរការសំខាន់ៗដូចជាការឆ្លាក់ ឬកំណកអាចបណ្តាលឱ្យមានស្រទាប់មិនស្មើគ្នា សៀគ្វីមានកំហុស។
និងច្រានចោលបន្ទះសៀគ្វី។
តម្រងឧស្ម័ន semiconductor
មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការធានានូវភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន ការការពារគុណភាព wafer និងរក្សាប្រសិទ្ធភាពនៃខ្សែផលិតកម្ម។
ប្រភេទនៃតម្រងឧស្ម័ន Semiconductor
1. តម្រងភាគល្អិត
* រចនាឡើងដើម្បីយកភាគល្អិតរឹង ដូចជាធូលី និងកំទេចកំទីចេញពីស្ទ្រីមឧស្ម័ន។
*ទំហំរន្ធញើសមានលក្ខណៈល្អិតល្អន់ (ឧទាហរណ៍ អនុមីក្រូ) ដើម្បីចាប់យកភាពកខ្វក់ដោយមិនរឹតបន្តឹងលំហូរឧស្ម័ន។
* ផលិតពីវត្ថុធាតុដើមដូចជាដែកអ៊ីណុក sintered សម្រាប់ភាពធន់ និងធន់នឹងសារធាតុគីមី។
2. ម៉ូលេគុលតម្រងកខ្វក់
* វិស្វកម្មពិសេសដើម្បីលុបភាពមិនបរិសុទ្ធកម្រិតម៉ូលេគុល ដូចជាសំណើម និងអ៊ីដ្រូកាបូន។
*ជារឿយៗប្រើសម្ភារៈទំនើបៗដូចជា PTFE ឬកាបូនដែលបានធ្វើឱ្យសកម្ម ដើម្បីចាប់សារធាតុកខ្វក់ដោយគីមី ឬរាងកាយ។
* មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការថែរក្សាភាពបរិសុទ្ធកម្រិតខ្ពស់បំផុតនៅក្នុងដំណើរការដែលងាយនឹងសំណើម ឬសំណល់សរីរាង្គ។
3. តម្រងរួមបញ្ចូលគ្នា
* ផ្តល់ជូនការចម្រោះពហុស្រទាប់ ដើម្បីដោះស្រាយទាំងភាគល្អិត និងសារធាតុកខ្វក់ក្នុងពេលដំណាលគ្នា។
* ល្អបំផុតសម្រាប់ស្ទ្រីមឧស្ម័នដែលមានទម្រង់មិនបរិសុទ្ធចម្រុះ។
* រួមបញ្ចូលគ្នានូវបច្ចេកវិទ្យាដូចជា សមា្ភារៈ sintered សម្រាប់ចម្រោះភាគល្អិត និងសារធាតុ adsorbents គីមី
សម្រាប់ការយកចេញសារធាតុកខ្វក់ម៉ូលេគុល
ការប្រៀបធៀបនៃការរចនាតម្រង និងបច្ចេកវិទ្យា
ប្រើប្រាស់បានយូរ និងមានប្រសិទ្ធភាពសម្រាប់ការដកភាគល្អិតនៅក្នុងប្រព័ន្ធសម្ពាធខ្ពស់។
* តម្រងផ្អែកលើភ្នាស:
ផ្តល់នូវការច្រោះម៉ូលេគុលដ៏ល្អ ប៉ុន្តែអាចត្រូវការសម្ពាធទាប។
* តម្រងកូនកាត់:
រួមបញ្ចូលគ្នានូវបច្ចេកវិទ្យា sintered និងភ្នាសសម្រាប់ការច្រោះដ៏ទូលំទូលាយនៅក្នុងការរចនាបង្រួម។
ជម្រើសនៃតម្រងគឺអាស្រ័យលើឧស្ម័នជាក់លាក់ លក្ខខណ្ឌប្រតិបត្តិការ និងហានិភ័យនៃការចម្លងរោគ
ដំណើរការ semiconductor ។
លក្ខណៈសំខាន់ៗនៃតម្រងឧស្ម័ន Semiconductor
1. ប្រសិទ្ធភាពនៃការច្រោះ
*រចនាឡើងសម្រាប់ការចម្រោះកម្រិតមីក្រូមីក្រូ ដើម្បីយកសូម្បីតែភាគល្អិតតូចបំផុត និងសារធាតុកខ្វក់ម៉ូលេគុល។
* ធានានូវឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ខ្លាំង ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ដំណើរការ សារធាតុ semiconductor ដែលងាយរងគ្រោះ។
2. ធន់នឹងកំដៅ និងគីមីខ្ពស់។
* សាងសង់ពីវត្ថុធាតុដូចជាដែកអ៊ីណុក sintered និង PTFE ដើម្បីទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្លាំង
និងឧស្ម័នពុល។
* ស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីចម្រុះដែលពាក់ព័ន្ធនឹងបរិយាកាសប្រតិកម្ម ឬសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
3. ភាពធន់ និងអាយុកាលសេវាកម្មបានយូរ
* វិស្វកម្មសម្រាប់ការប្រើប្រាស់យូរជាមួយនឹងការរិចរិលតិចតួច កាត់បន្ថយភាពញឹកញាប់នៃការជំនួស និងពេលវេលារងចាំ។
* សម្ភារៈធន់នឹងការពាក់ និងការរហែក រក្សាដំណើរការក្នុងរយៈពេលយូរ។
4. ភាពឆបគ្នាជាមួយនឹងប្រព័ន្ធឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត
* រចនាឡើងដើម្បីរួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនទៅក្នុងបំពង់បង្ហូរប្រេងដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដោយមិនបង្ហាញពីភាពកខ្វក់។
* បំពេញតាមស្ដង់ដារឧស្សាហកម្មសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ ធានាបាននូវដំណើរការជាប់លាប់ក្នុងការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក។
លក្ខណៈពិសេសទាំងនេះធ្វើឱ្យតម្រងឧស្ម័ន semiconductor មិនអាចខ្វះបានសម្រាប់ការធានានូវប្រសិទ្ធភាព ភាពជឿជាក់ និង
គុណភាពនៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់។
កម្មវិធីនៃតម្រងឧស្ម័ន Semiconductor
1. ដំណើរការ Semiconductor
* ការឆ្លាក់:
តម្រងធានាបាននូវឧស្ម័នដ៏បរិសុទ្ធបំផុត ដើម្បីការពារការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃលំនាំដែលឆ្លាក់លើ wafers ។
* ការដាក់ប្រាក់:
ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានទាមទារសម្រាប់ការបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើងឯកសណ្ឋានក្នុងគីមី និងរូបវិទ្យា
ដំណើរការនៃការបញ្ចេញចំហាយ (CVD និង PVD) ។
* Lithography:
តម្រងឧស្ម័នរក្សាភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការ photolithographic ដោយយកភាពមិនបរិសុទ្ធចេញ
ដែលអាចជ្រៀតជ្រែកជាមួយនឹងការប៉ះពាល់នឹងពន្លឺ ឬប្រតិកម្មគីមី។
2. ឧស្ម័នដែលទាមទារការចម្រោះ
* អាសូត (N₂):
ប្រើសម្រាប់ការបន្សុទ្ធ និងជាឧស្ម័នដឹកជញ្ជូន ទាមទារភាពបរិសុទ្ធដាច់ខាត ដើម្បីជៀសវាងការចម្លងរោគ។
* អាហ្គុន (Ar):
ចាំបាច់សម្រាប់ដំណើរការប្លាស្មា និងការបន្ទោរបង់ ដែលភាពមិនបរិសុទ្ធអាចរំខានដល់ស្ថេរភាព។
* អុកស៊ីសែន (O₂):
ប្រើក្នុងដំណើរការអុកស៊ីតកម្ម និងសម្អាត ត្រូវការការផ្គត់ផ្គង់គ្មានសារធាតុកខ្វក់។
អ៊ីដ្រូសែន (H₂):
មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការកាត់បន្ថយបរិស្ថានក្នុងការដាក់ និងច្រេះ ដោយមានភាពមិនបរិសុទ្ធទាបការរាំ។
3. ឧស្សាហកម្មលើសពី Semiconductors
* ឱសថ:
ឧស្ម័នសុទ្ធសម្រាប់ផលិត និងវេចខ្ចប់ផលិតផលងាយរងគ្រោះ។
* លំហអាកាស:
ដំណើរការផលិតភាពជាក់លាក់ពឹងផ្អែកលើបរិស្ថានឧស្ម័នស្អាត។
* អាហារ និងភេសជ្ជៈ:
តម្រងធានានូវឧស្ម័នដែលគ្មានជាតិពុលសម្រាប់ការវេចខ្ចប់ និងដំណើរការ។
តម្រងឧស្ម័ន Semiconductor មានសារៈប្រយោជន៍សម្រាប់ភាពជាក់លាក់ ប្រសិទ្ធភាព និងគុណភាពទាំងពីរ
ការផលិត semiconductorនិងកម្មវិធីដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ផ្សេងទៀត។
របៀបជ្រើសរើសតម្រងឧស្ម័ន Semiconductor ត្រឹមត្រូវ។
1. កត្តាដែលត្រូវពិចារណា
* ប្រភេទឧស្ម័ន៖ ឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នាមានហានិភ័យនៃការចម្លងរោគខុសៗគ្នា (ឧទាហរណ៍ សំណើមសម្រាប់អាសូត អ៊ីដ្រូកាបូនសម្រាប់អ៊ីដ្រូសែន)។ ជ្រើសរើសតម្រងដែលសមស្របទៅនឹងឧស្ម័នជាក់លាក់។
* អត្រាលំហូរ៖ ត្រូវប្រាកដថាតម្រងអាចគ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័នដែលត្រូវការដោយមិនប៉ះពាល់ដល់ប្រសិទ្ធភាព ឬការណែនាំការធ្លាក់ចុះសម្ពាធ។
* សម្ពាធប្រតិបត្តិការ៖ ជ្រើសរើសតម្រងដែលបានរចនាឡើងសម្រាប់ជួរសម្ពាធនៃប្រព័ន្ធរបស់អ្នក ជាពិសេសនៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសម្ពាធខ្ពស់។
* ភាពឆបគ្នា។៖ ផ្ទៀងផ្ទាត់វត្ថុចម្រោះដែលត្រូវគ្នានឹងគីមីជាមួយឧស្ម័ន និងសមាសធាតុប្រព័ន្ធផ្សេងទៀត។
2. សារៈសំខាន់នៃទំហំរន្ធញើស និងការជ្រើសរើសសម្ភារៈ
* ទំហំរន្ធញើស៖ ជ្រើសរើសតម្រងដែលមានទំហំរន្ធញើសដែលស័ក្តិសមសម្រាប់ការយកសារធាតុកខ្វក់ចេញតាមប្រសិទ្ធភាពដែលចង់បាន (ឧ. កម្រិតអនុមីក្រូសម្រាប់កម្មវិធីសំខាន់)។
* សម្ភារៈ៖ ជ្រើសរើសសម្ភារៈប្រើប្រាស់បានយូរដូចជាដែកអ៊ីណុក sinteredសម្រាប់ភាគល្អិត ឬ PTFE សម្រាប់ភាពកខ្វក់នៃម៉ូលេគុល ធានានូវភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងការ corrosion កំដៅ និងសម្ពាធ។
3. ព័ត៌មានជំនួយសម្រាប់ការថែទាំ និងការជំនួស
* ត្រួតពិនិត្យតម្រងជាប្រចាំសម្រាប់ការស្ទះ ការពាក់ ឬកាត់បន្ថយដំណើរការ។
*អនុវត្តតាមការណែនាំរបស់អ្នកផលិតសម្រាប់ការសម្អាត ឬជំនួសតម្រងដើម្បីការពារការចម្លងមេរោគ។
* ប្រើឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ ប្រសិនបើមាន ដើម្បីតាមដានប្រសិទ្ធភាពតម្រង និងកំណត់ថានៅពេលណាត្រូវការការជំនួស។
តាមរយៈការវាយតម្លៃដោយប្រុងប្រយ័ត្ននូវកត្តាទាំងនេះ និងការថែរក្សាតម្រងឱ្យបានត្រឹមត្រូវ អ្នកអាចធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន និងដំណើរការប្រព័ន្ធល្អបំផុតនៅក្នុងកម្មវិធី semiconductor ។
ភាពជឿនលឿននៃបច្ចេកវិទ្យាតម្រងឧស្ម័ន Semiconductor
1. ការច្នៃប្រឌិតក្នុងវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ
* តម្រងភាគល្អិតណាណូ៖ ការអភិវឌ្ឍន៍សម្ភារៈទំនើបដែលមានសមត្ថភាពចាប់សារធាតុកខ្វក់នៅកម្រិតម៉ូលេគុល ឬអាតូមិក។
នេះធានាបាននូវកម្រិតខ្ពស់នៃភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នសម្រាប់ដំណើរការ semiconductor ដែលងាយប្រតិកម្មខ្លាំង។
* សម្ភារៈកូនកាត់៖ រួមបញ្ចូលគ្នារវាងលោហធាតុ sintered ជាមួយប៉ូលីម៊ែរកម្រិតខ្ពស់ដើម្បីបង្កើតតម្រងដែលប្រើបានយូរនិង
មានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ក្នុងការកម្ចាត់មេរោគចម្រុះ។
2. ប្រព័ន្ធចម្រោះឆ្លាតវៃ
* សមត្ថភាពត្រួតពិនិត្យដែលភ្ជាប់មកជាមួយ:
ការរួមបញ្ចូលឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលតាមដានដំណើរការតម្រង ការធ្លាក់ចុះសម្ពាធ និងកម្រិតនៃការចម្លងរោគនៅក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង។
* ការថែរក្សាការព្យាករណ៍:
ប្រព័ន្ធឆ្លាតវៃជូនដំណឹងដល់ប្រតិបត្តិករ នៅពេលដែលតម្រងត្រូវការសម្អាត ឬការជំនួស កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពកាលវិភាគថែទាំ។
3. ការរចនាប្រកបដោយនិរន្តរភាព និងថាមពល-ប្រសិទ្ធភាព
* សម្ភារៈដែលមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថាន:
តម្រងដែលផលិតឡើងជាមួយនឹងសមាសធាតុដែលអាចកែច្នៃឡើងវិញបាន ឬមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថាន ដើម្បីកាត់បន្ថយកាកសំណល់។
* ប្រសិទ្ធភាពថាមពល:
ការរចនាដែលកាត់បន្ថយការធ្លាក់ចុះសម្ពាធ និងការប្រើប្រាស់ថាមពល ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពប្រព័ន្ធដោយមិនប៉ះពាល់ដល់គុណភាពតម្រង។
ភាពជឿនលឿនទាំងនេះមិនត្រឹមតែបង្កើនដំណើរការនៃតម្រងឧស្ម័ន semiconductor ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងរួមចំណែកដល់ប្រសិទ្ធភាពនៃការចំណាយ និង
និរន្តរភាពបរិស្ថាន ដោះស្រាយតម្រូវការដែលកំពុងកើនឡើងនៃឧស្សាហកម្ម semiconductor ។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
តម្រងឧស្ម័ន Semiconductor មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការធានានូវឧស្ម័នដ៏បរិសុទ្ធ ការពារគុណភាព wafer និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម។
តួនាទីរបស់ពួកគេមានសារៈសំខាន់ក្នុងការជំរុញបច្ចេកវិទ្យា semiconductor និងបំពេញតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មតឹងរ៉ឹង។
សម្រាប់ដំណោះស្រាយដែលសមស្រប សូមពិគ្រោះជាមួយអ្នកជំនាញដើម្បីជ្រើសរើសតម្រងដ៏ល្អបំផុតសម្រាប់តម្រូវការរបស់អ្នក និងធានាបាននូវប្រសិទ្ធភាពអតិបរមានៅក្នុងប្រតិបត្តិការរបស់អ្នក។
ផ្ញើសាររបស់អ្នកមកយើង៖
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ២២-វិច្ឆិកា-២០២៤
